Вода для электронной техники и электронной промышленности.

Согласно отраслевого стандарта ОСТ 11-029.003-80 «Изделия электронной техники. Вода, применяемая в производстве. Марки, технические требования, методы очистки и контроля» в зависимости от степени чистоты различают 3 марки воды — А, Б и В. Они различаются по удельному электрическому сопротивлению (а соответственно, и по удельной электропроводности) - комплексному показателю, характеризующему количество ионов (носителей электрического заряда) в воде, а также по содержанию основных загрязнителей, влияющих на качество изделий электронной техники.

Кроме того технология водоподготовки должна обеспечивать чистоту поверхности полупроводниковой подложки для того, чтобы исключить возможность образования поверхностных дефектов.

В следующей таблице приведены нормативы технических требований к качеству марок воды для электронной техники по ОСТ 11-029.003-80

Параметры воды

Марка воды по нормам

ОСТ

А

Б

В

Удельное электрическое сопротивление при температуре 20°С, МОм/см

18

10

1

Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более

1

1,5

Общий органический углерод, мкг/л, не более

-

Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более

0,01

0,05

0,2

Содержание железа, мг/л, не более

0,015

0,02

0,03

Содержание меди, мг/л, не более

0,005

Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более

20

50

-

Содержание микробов, колоний/мл, не более

2

8

-

Хлориды, мкг/л, не более

-

Никель, мкг/л, не более

-

Нитраты, мг/л, не более

-

Фосфаты, мг/л, не более

-

Сульфаты, мг/л, не более

-

Калий, мкг/л, не более

-

Натрий, мкг/л, не более

-

Цинк, мкг/л, не более

-

* Справочно: Удельная проводимость воды, мкСм/см

0,0556

0,1

1,0

В следующей таблице приведены нормативы технических требований к качеству марок воды для электронной техники по ASTM D-5127-90

Параметры воды

Марка воды по нормам

ASTM

Е-1

Е-2

Е-3

Е-4

Удельное электрическое сопротивление при температуре 20°С, МОм/см

18

17,5

12

0,5

Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более

-

Общий органический углерод, мкг/л, не более

25

50

300

1000

Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более

0,005

0,01

0,05

1

Содержание железа, мг/л, не более

-

Содержание меди, мг/л, не более

0,001

0,002

0,5

Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более

-

Содержание микробов, колоний/мл, не более

-

Хлориды, мкг/л, не более

1

10

1000

Никель, мкг/л, не более

0,1

1

2

500

Нитраты, мг/л, не более

1

5

500

Фосфаты, мг/л, не более

1

5

500

Сульфаты, мг/л, не более

1

5

500

Калий, мкг/л, не более

2

5

500

Натрий, мкг/л, не более

0,5

1

5

500

Цинк, мкг/л, не более

0,5

1

5

500

* Справочно: Удельная проводимость воды, мкСм/см

0,0556

0,057

0,083

2,0

Наиболее информативным и важным показателем качества воды для электронной промышленности является показатель удельной электрической проводимости (удельной электропроводности). Этот показатель обратно пропорционален удельному электрическому сопротивлению и измеряется в микроСименсах на сантиметр: мкСм/см:

удельная электропроводность воды мкСм/см1 = 1 / удельное электрическое сопротивление воды МОм/см1